DeviceNet現(xiàn)場(chǎng)總線在MOCVD設(shè)備上的應(yīng)用 

肖慧, 林博奇 
(中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第48研究所，湖南 長(zhǎng)沙 410111) 
 

摘 要： 以MOCVD 設(shè)備為例，介紹一種基于DeviceNet 現(xiàn)場(chǎng)總線標(biāo)準(zhǔn)，采用遠(yuǎn)程DeviceNet 掃描儀SST-END-1-C2 與流量控制器、壓力控制器構(gòu)成現(xiàn)場(chǎng)總線控制網(wǎng)絡(luò)。給出了DeviceNet 軟件設(shè)計(jì)與控制實(shí)現(xiàn)。使用效果表明DeviceNet 是基于CAN 總線技術(shù)的一種低成本的通信鏈接，是一種低端網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)，具有低成本、高效率、高可靠性的特點(diǎn)。
關(guān)鍵詞： DeviceNet 現(xiàn)場(chǎng)總線；CAN 總線；MOCVD 設(shè)備中圖分類號(hào)：TP336 文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼：A 文章編號(hào)：1007-3175(2014)07-0032-04

Application of DeviceNet Field Bus in MOCVD Equipment 

XIAO Hui, LIN Bo-qi 
（The Forty-Eighth Research Institution of China Electronic Science and Technology Group Company, Changsha 410111 , China） 
 

Abstract: Taking MOCVD equipment for example, this paper introduced a kind of standard based on DeviceNet field bus. The field bus control network consisted of the remote DeviceNet scanner, SST-END-1-C2, flow controllers and pressure controllers. This paper gave the software design of DeviceNet and control implementation. The use effectiveness of DeviceNet shows that DeviceNet is a kind of low cost communication link based on CAN bus technology, a kind of low network system with low cost, high efficiency and high reliability characteristics.
       Key words: DeviceNet field bus; CAN bus; MOCVD equipment

參考文獻(xiàn)
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